研发实力 - 浙江英德赛半导体材料股份有限公司

三氯化硼系列

氯硅烷系列

省级研发中心/研发实验室

2011 年成立创新创业团队，主要致力于电子特气的研究和开发，2017年被评为省级高新技术企业研究开发中心，2019 年被海宁市经信局评为海宁市重点企业技术创新团队，2019年建立了微纳米研发实验室。目前拥有发明专利 23 项，实用新型专利 26 项。

专利&知识产权

23₊

发明专利

26₊

实用新型专利

15₊

研发项目荣誉证书

一种氮化硅滤液的分离装置
一种含氨尾气处理系统及处理方法
一种三氯化硼精馏设备
一种电子级乙硼烷纯化装置
一种高纯氨槽车加热系统及其加热方法
一种高纯度氨亚ppb级金属离子检测分析设备
一种超纯氨深度净化装置
一种超纯水提纯设备
高纯氨钢瓶/槽车残液批量处理系统及方法
一种高纯氨槽车应急供气系统
一种氨水回收系统及回收方法
一种大功率高纯氨车载加热系统
一种制备等轴状α相氮化硅粉末的方法
一种α相氮化硅粉体的制备方法
一种高纯氨连续生产系统及其生产工艺
一种半导体电子特气生产全自动化控制设备
三氯化硼尾气处理装置
电子级氨水混配装置
超纯氨精馏设备
超纯水制备装置
一种双罐转运槽车
一种超纯氨低能耗精馏设备
高纯氨的充装装置
一种液氨汽化器
一种高纯氨钢瓶运输车
一种高纯氨的储存罐
高纯氨储存装置
一种高纯氨钢瓶的转运车
高纯氨钢瓶中防护组件
一种高效钢瓶清洗装置
电子级高纯氨输送管道中管段偏心连接机构
高纯度氨存储罐中的出气机构
特种气体输送管道的检漏装置
特种电子气体灌装系统中空钢瓶的输送装置
特种电子气体行业自动化管理系统中钢瓶的出料装置
一种电子级高纯氢纯化装置
一种G1级氨水杂质检测装置
一种符合三氟化氮要求的高纯液氨高效精密蒸馏装置
一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置
特种气体钢瓶批量式抓取装置中的锁定机构
一种应用于光伏行业的超高纯氨的液氨气化器
一种大流量电子级特气的连续供气装置
一种高纯氨钢瓶自动化充装系统
一种大功率高纯氨车载加热器
一种超纯氨的高效制备设备
一种高效钢瓶处理装置
高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法
一种电子级超纯氨的自动充装装置的充装方法
一种用在电子级超纯氨提纯装置上的自动在线检测装置

地址：浙江省海宁市尖山新区安江路38号

电话：0573-8926-2352

传真：0573-8926-2355

邮箱：ia@indusair.cn / jzh@indusair.cn

© 2024 浙江英德赛半导体材料股份有限公司 . All Right Reserved. 浙ICP备2022005444号

浙公网安备33048102241104